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关于洗涤设备与测硅片电阻率的测试仪器及硅电阻率的相关信息，如下：
1、洗涤设备：在硅片生产中，常用的洗涤设备包括超声波清洗器、喷淋清洗机、电解清洗机等，这些设备可以有效地去除硅片表面的污染物和残留物，为后续的电阻率测试做准备。
2、测试仪器：测试硅片的电阻率需要使用专业的电阻率测试仪器，如四探针电阻率测试仪，这种仪器通过四个探针与硅片接触，测量硅片的电阻，然后计算出电阻率，还可能用到其他相关仪器，如表面形貌仪、光学显微镜等，以更全面地分析硅片的性质。
3、硅电阻率：硅的电阻率取决于其纯度、温度等多个因素，一般情况下，纯硅的电阻率相对较高，在室温下，本征硅（即纯净的硅）的电阻率约为1mΩ·cm（欧姆厘米），但请注意，不同类型的硅材料和应用场景可能会导致电阻率的差异，具体的数值需要根据实际情况来确定。
仅供参考，如需更多关于硅材料及其测试的信息，建议咨询相关领域的专家或查阅专业文献。